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顯微激光測振儀MLV-100
MLV-100顯微激光測振儀通過顯微光學(xué)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)對(duì)微小物體的振動(dòng)測量，使激光光斑達(dá)到微米量級(jí)，提高測量的準(zhǔn)確性，并可通過顯微成像系統(tǒng)實(shí)時(shí)觀察物體的振動(dòng)狀態(tài)。
隨著MEMS的日益發(fā)展，顯微式激光測振儀可以測量MEMS元器件的振動(dòng)和形貌，是專門對(duì)微結(jié)構(gòu)的振動(dòng)測量以及可視化測量分析的理想工具。
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點(diǎn)直徑* |
大約10um |
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頻率響應(yīng)范圍* |
DC to 25KHz， DC to 100KHz， DC to 1MHz/2.5MHz |
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測量速度范圍 |
法向* |
50mm/s,500mm/s,1m/s5m/s10m/s |
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切向* |
150mm/s, 1500mm/s, 15m/s，30m/s |
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濾波設(shè)置 |
高通、低通濾波設(shè)置 |
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顯微鏡 |
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目鏡 |
放大倍率 |
W.D |
光束直徑 |
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5X |
34mm |
30um |
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10X |
34mm |
20um |
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20X/50X |
20mm/13mm |
10um/2um |
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X-Y平臺(tái) |
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尺寸 |
100X100mm |
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移動(dòng)范圍 |
+/-10mm |
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分辨率 |
0.001mm |
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*可根據(jù)客戶要求，并可為客戶定制
