MX51工業(yè)檢測顯微鏡

 緊湊的設計實現(xiàn)小的占地空間

• 鏡臂部分和鏡體分開, 使高的樣品觀察成為可能

• 標配158×158mm手動移動載物臺(大可用于200mm晶圓檢查)

• 選配長工作距離物鏡, 極大方便磁頭檢查

• 采用防靜電設計，極大方便磁頭檢查

• 提高系統(tǒng)靈活性和操作舒適性，滿足SEMI S2/S8標準

光學系統(tǒng)		UIS2光學系統(tǒng)（無限遠校正光學系統(tǒng)）
顯微鏡鏡體		Z軸同軸粗微調(diào)調(diào)焦，載物臺行程范圍：32 mm（從焦面上行2 mm和下行30 mm） 行程相同：15 mm（配合透射光照明） Z軸微調(diào)焦每旋轉一周的行程0.1 mm（1個單位1 μm） 調(diào)焦機構張力可調(diào) 有調(diào)焦上限位機構
照明系統(tǒng)		BX-KMA 明視場照明器	BX-RLA2 明視場/暗視場照明器
	觀察方式轉換	—	明視場-暗視場滑塊轉換法
	可適用觀測模式	①明視場法 ②DIC微分干涉襯比法 ③偏振光照明法	①明視場法 ②暗視場法 ③DIC微分干涉襯比法 ④偏振光照明法 ⑤紅外光
光源		6V30W瓦鹵素燈 燈座: U-LS30-4 變壓器: TL-4	12V100W瓦鹵素燈 燈座: U-LH100L-3 電源整合在MX51顯微鏡中
透射照明		明視場MX-TILLK照明燈，配備光纖照明附件（MX-TILLK須與MX-SIC6R2配合使用）
觀察鏡筒		U-BI30-2 寬場雙目鏡筒， U-TR30-2 寬場三目鏡筒，  U-ETR3 寬場正像三目鏡筒(F.N. 22)，U-SWTR 超寬場三目鏡筒，MX-SWETTR 超寬場正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5)
物鏡換鏡轉盤		U-5RE-2, U-6RE U-D5BDRE, U-D6BDRE, U-P5BDRE (帶有微粉干涉襯比法棱鏡滑槽)
載物臺		U-SIC4R2/SIC4L2同軸右/左手控制4英寸×4英寸載物臺 MX-SIC6R2同軸右/左手控制6英寸×6英寸載物臺