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熒光觀察法
日期：2025-07-02 01:50
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摘要：
熒光觀察法
半導(dǎo)體晶圓上的顆粒
該項(xiàng)技術(shù)適用于觀察那些在受到專門設(shè)計(jì)的濾鏡（可以按照檢測(cè)需要制作）照明時(shí)會(huì)發(fā)出熒光（發(fā)出不同波長的光線）的樣本。該方法通過熒光染色，應(yīng)用于觀測(cè)半導(dǎo)體晶圓表面的污物、抗蝕劑的殘?jiān)土押鄣臋z測(cè)。可以添加選購的復(fù)消色差光源聚光透鏡系統(tǒng)，從而為可見光到近紅外線范圍內(nèi)的色差進(jìn)行補(bǔ)償。 
